Dữ liệu về tiết diện ion hoá của phân tử khí (2/2)

Thử nghiệm và kết quả lý thuyết quá trình ion hóa của các phân tử bị kích thích dao động cho thấy khá rõ ràng một sự thay đổi về ngưỡng ion hóa đến vùng năng lượng thấp hơn và sự tăng cường đáng kể của diện tích va chạm trong vùng năng lượng thấp hơn ở gần ngưỡng năng lượng (ngưỡng năng lượng là năng lượng động học tối thiểu mà một cặp hạt chuyển động phải đạt được khi có sự va chạm giữa chúng. Ngưỡng năng lượng luôn luôn lớn hơn hoặc bằng năng lượng “nghỉ” của các hạt được xem xét. Trong hầu hết các trường hợp khi động lượng được bảo toàn, ngưỡng năng lượng là lớn hơn đáng kể so với năng lượng nghỉ của các hạt xem xét và do đó sẽ vẫn có sự xem xét năng lượng động học trong các hạt cuối cùng), hai hiệu ứng này có thể ảnh hưởng đến sự cân bằng ion hóa trong quá trình plasma ở nhiệt độ thấp.
Nhiều phép đo về tiết diện của quá trình ion hóa phân ly đã được thực hiện trước năm 1990 là chưa thuyết phục vì nhiều thí nghiệm không đúng so với dữ liệu trong thực tế đó là các ion có thể được tạo ra với sự vượt quá mức của năng lượng động học lớn hơn nhiều so với năng lượng nhiệt. Việc mất các ion và các hiệu ứng chọn lọc khác liên quan đến các dạng ion được tiến hành đo lường, thí nghiệm hàng loạt trước năm 1990. Đối với các phân tử phức tạp được sử dụng trong xử lý plasma hiện nay chỉ có một vài ví dụ về dữ liệu được cho là đáng tin cậy với quá trình ion hoá phân ly, chẳng hạn như CH4, SiH4, CF4, và SF6. Nói chung các dữ liệu về tiết diện ion hoá của các phân tử khi còn thiếu rất nhiều hoặc thiếu sự chính xác.

Rất gần đây, đã có những nỗ lực để đo được tiết diện của quá trình ion hóa và ion hóa phân ly cho các phân tử hữu cơ phức tạp bằng kim loại và silic-hữu cơ lắng đọng được sử dụng trong plasmas. Khi xem xét sự hình thành các ion của quá trình phân ly trong hiện tượng phóng điện, các cực phân ly cũng phải được đưa vào xem xét. Mặc dù điều này thường là một quá trình nhỏ đối với cả quá trình hình thành các ion dương, nó có thể đóng góp đáng kể cho sự hình thành ion âm.

Leave a Reply

Fill in your details below or click an icon to log in:

WordPress.com Logo

You are commenting using your WordPress.com account. Log Out / Change )

Twitter picture

You are commenting using your Twitter account. Log Out / Change )

Facebook photo

You are commenting using your Facebook account. Log Out / Change )

Google+ photo

You are commenting using your Google+ account. Log Out / Change )

Connecting to %s