Nguồn gốc của các dạng trong plasma

Một hiện tượng phóng điện khí trong phòng thí nghiệm được định nghĩa là nó các giới hạn vật lý như hình 1. Các hạt phóng điện được tạo nên và mất đi trong cả vùng không gian giới hạn và ở các bề mặt đã xác định đến các mức độ thay đổi. Không chỉ đưa ra một sự phân loại tốt hơn về plasma mà còn có thể đưa ra trực tiếp các vấn đề mở rộng cho nguồn plasma.

Hình 1. Tạo plasma bên trong “tụ điện – bình (chamber)” (phòng thí nghiệm)

Bảng 1 liệt kê các phản ứng khác nhau mà có thể diễn ra ở bề mặt tiếp xúc với plasma. Hai vấn đề đầu tiên cần quan tâm là quá trình khắc (dập tắt plasma) và quá trình lắng đọng, kết bám được lần lượt tăng cường bởi sự truyền năng lượng được tạo ra bởi các hạt khác nhau.

Bảng 2 và 3 liệt kê  các hiện tượng xảy ra trong chất khí, ở đây các hạt bị ion hóa, một số phân tử khí bị phân chia và tích tụ kết khối (có chút kim loại). Quá trình cuối cùng là giai đoạn đầu tiên trong sự hình thành vật liệu hạt (bụi) trong plasma.

Bảng 1. Các phản ứng bề mặt
Phản ứng Mô tả Nhận biết
AB + C_rắn → A +BC_hơi Ăn mòn Ăn mòn kim loại
AB → A +B_rắn Kết tụ Tạo lớp phim mỏng
e + A+ → A Tái hợp Quá trình tổn thất cơ bản
A* → A Khử kích thích
A* → A + e (từ bề mặt) Phát xạ thứ cấp Điện tử Auger
A+(nhanh) → A + e (từ bề mặt) Phát xạ thứ cấp Điện tử Auger
Bảng 2. Các phản ứng xảy ra trong chất khí tạo ra các electron
e + A → A + e Tán xạ đàn hổi Các electron nhiệt
e + A → A+ + e + e Ion hoá Dẫn điện
e + A → A* + e Kích thích
e + A* →  e+ A + hυ Khử kích thích Phát ánh sáng
e + A* → A+ + e + e Ion hoá bước 2 Hiệu suất ion hoá
e + AB → A + B + e→ A+ + e + B + e 

→ A + B

Phân mảnhIon hoá phân ly 

Kết hợp phân ly

Phân tích khí còn dư
e + A+ + B → A + B Tái hợp môi trường Suy giảm plasma&trạng thái ổn định
Bảng 3. Các phản ứng xảy ra trong chất khí tạo ra các ion và các hạt trung hoà
A+ + B → B+ + A “cộng hưởng” với B = A Trao đổi điện tích Phổ năng lượng ion
A+ + B → B + A+ Tán xạ đàn hồi Phổ năng lượng ion
A+ + B → A+ + B* + e Sự kích thích Hiệu suất ion hoá
A+ + B → A+ + B+ + e Sự ion hoá Hiệu suất ion hoá
A + B* → A+ + B + e Sự ion hoá Penning Hiệu suất ion hoá
A+ + BC → A+ + B + C Sự phân mảnh/Sự phân ly Phân tích khí còn dư
e + A+ + B → A + B Tái hợp môi trường Suy giảm plasma
A± + B → AB± Có chút kim loại Các phổ khối lượng ion
A + B → AB Có chút kim loại Phân tích khí còn dư


Leave a Reply

Fill in your details below or click an icon to log in:

WordPress.com Logo

You are commenting using your WordPress.com account. Log Out / Change )

Twitter picture

You are commenting using your Twitter account. Log Out / Change )

Facebook photo

You are commenting using your Facebook account. Log Out / Change )

Google+ photo

You are commenting using your Google+ account. Log Out / Change )

Connecting to %s

%d bloggers like this: